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微型傳感器的特點

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微型傳感器的特點

發布日期:2018-08-24 作者:admin 點擊:

傳統的傳感器件因其制作工藝與半導體IC 工藝不兼容,所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應,于是制約了整個系統的集成化、批量化和性能的充分發揮。

微型傳感器的特點=

微型傳感器不是傳統傳感器簡單的物理縮小的產物,而是以新的工作機制和物化效應,使用標準半導體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術制備的新傳感器件,具有小型化、集成化的特點,可以較大地提高傳感器性能。在信號傳輸前就可放大信號,從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補償線路,可改善輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。

具有陣列性??梢栽谝粔K芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路??梢园讯鄠€相同的敏感元件集成在同一芯片上;具有良好的兼容性,便于與微電子器件集成與封裝。

利用成熟的硅微半導體工藝加工制造,可以批量生產,成本非常低廉。


本文網址:http://www.mo5tar.com/news/434.html

關鍵詞:測力傳感器,微型傳感器,壓力傳感器

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